De interactie
Elektronendiffractie wordt normaal gesproken uitgevoerd met elektronen die een hoge energie, en een kleine golflengte hebben, veel korter dan de afstanden tussen atomen. Voor elektronen van 100 keV bijvoorbeeld is λ < 3.7 x 10-12 m. Typische inter-atomaire afstanden zijn ongeveer 0.2 x 10-9 m.
De elektronen worden verstrooid door interactie met de positief geladen atoomkern. Elektronen zijn geladen, lichte deeltjes die een sterke interactie met vaste stoffen vertonen; de doordringdiepte is daardoor zeer beperkt. Lage-energie Electron Diffractie (LEED) en Reflectie Hoge-energie Elektron Diffractie (RHEED) worden daarom gezien als technieken die het oppervlak van materialen bestuderen. Transmissie elektronendiffractie kan alleen worden gebruikt voor monsters die minder dan 1 mm dik zijn. Transmissie elektronendiffractie wordt normaal gedaan in een Transmissie elektronenmicroscoop (TEM).
Bekend kristal
Als het kristal nauwkeurig bekend is, kan de techniek van elektronendiffractie worden gebruikt voor het bepalen van de golflengte (periode) λ van een elektron. Dit gebeurt in een diffractiebuis.